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四端子压实密度电阻率测试仪 四端子压实密度电阻率测试仪
理论精度优势
消除接触电阻干扰：通过分离电流与电压测量回路，电压探针的高输入阻抗（>1000MΩ）使接触电阻产生的压降可忽略，误差主要来自探针间距的几何修正系数（如直线排列时C≈6.28±0.05 cm）。
仪器参数支持：典型设备的电流调节精度达±0.1%，电压分辨力为10μV，电阻率测量范围覆盖10～10 Ω·cm，满足宽量程需求。
参数
1. 便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；
2. 基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。
3. 精度高：电阻基本准确度： 0.01％；
方阻基本准确度：1%；
电阻率基本准确度：1%
5. 四位半显示读数；十量程自动或手动测试；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10档分选；实现HIGH/IN/LOW分选
6. 测量范围宽： 电阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；
7. 正反向电流源修正测量电阻误差
8. 恒流源：电流量程为：DC100mA-1A；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。
四探针法测量材料电阻的 优势在于其 的探针设计及测量原理，具体优点可归纳如下：
一、消除接触电阻与导线电阻干扰
电流-电压探针分离：外侧两探针注入电流，内侧两探针测量电压，因电压探针输入阻抗极高，流经电流小，接触电阻产生的压降可忽略不计。
独立测量回路：电压测量仅依赖探针间电势差，与导线电阻无关，避免传统两探针法中串联电阻导致的误差。
二、适用性广泛
材料范围宽：适用于高阻（如半导体）到低阻（如金属）材料的测量，覆盖电阻率范围广（10??～103 Ω·cm）。
样品形状灵活：对样品平整度或厚度要求较低，可测量薄膜、块体、不规则形状材料，甚至粉末压片。
三、测量精度高
电流场稳定：固定探针间距设计使电流分布均匀，减少边缘效应影响。
非破坏性测量：无需制备合金电极，不破坏样品内部结构，适合工艺监控与重复测试。
四、操作便捷
快速测量：无需复杂校准，可直接通过公式（如ρ= (V/I) × 2πS）计算电阻率。
环境适应性：测量结果受温湿度影响小，实验室与工业场景均适用。
五、特殊场景优势
薄层材料：通过修正系数（如4.532）简化超薄样品（如半导体圆片）的电阻率计算。
不均匀性分析：可沿样品径向测量断面电阻率，观察电阻率分布差异。
综上，四探针法通过分离电流与电压回路、优化探针布局，实现了高精度、高适应性的电阻测量，成为半导体、电池材料等领域的主流方法。
测量原理差异
两探针法：仅使用两个探针同时注入电流和测量电压，电流流经探针时会在接触点产生接触电阻，导线电阻也会串联到测量回路中，导致测得的电压包含额外电阻的压降。
四探针法：外侧两探针通电流，内侧两探针测电压，电压测量回路的高输入阻抗使电流小，接触电阻和导线电阻的影响可忽略，直接反映材料真实电阻率。
探针间距的标准化设计
固定间距探针：常规四探针仪采用直线排列的探针组，间距通常为1mm（如硅片测试）或0.5~1.5mm（半导体材料），制造时通过精密机械加工保证间距误差≤±1%。
可调间距探针：部分设备配备微调机构，允许用户根据样品厚度调整间距（如薄膜测试需缩小至0.1mm），并通过千分尺或激光测距仪校准。
